Laboratório de Microfabricação
O laboratório consiste em uma sala limpa classe 1000, equipada com uma impressora para realizar litografia a laser.
Pesquisa:
Atualmente o laboratório possui três linhas de pesquisa, que são:
- Estruturas para injeção de corrente polarizada em spin em materiais semicondutores;
- Estruturas para Spin-Válvulas;
- Estruturas para caracterização elétrica de semicondutores.
Estrutura:
- Laserwhiter mPG 101 Heidelberg – Resolução de 1μm- Amostras de até 10cm;
- Wire Bonding TPT HB02;
- Sputtering para deposição de filmes finos/contatos. Equipado com 2 canhões (DC e RF) e 6 alvos (Au, Cu, Co, MgO, Al2O, CoFe).
Auxiliares:
- Chapa Quente;
- Spin-coater;
- Banho de Ultrassom;
- Banho Quente;
- Capela;
- Desumidificador;
- Dessecador;
- Refrigerador.
Contato:
Profa. Cristiani Campos Plá Cid: cristiani.campos@ufsc.br (Coordenadora)
Profa. Deise Schafer: deise.schafer@ufsc.br (Sub-coordenadora)
Prof. André Pasa: pasa@fisica.ufsc.br
Fone: (48) 3721-2303
Agendamento:
A solicitação da utilização da estrutura deve ser realizada mediante envio de e-mail para cristiani.campos@ufsc.br ou deise.schafer@ufsc.br informando o obejtivo de uso da infraestutura, equipamentos a serem utilizados e tempo estimado de uso. Com base nestas informações a infraestutura será disponibilizada na data mais próxima disponível na agenda.
