Laboratório de Microfabricação

      O laboratório consiste em uma sala limpa classe 1000, equipada com uma impressora para realizar litografia a laser.


Pesquisa:

Atualmente o laboratório possui três linhas de pesquisa, que são:

  •  Estruturas para injeção de corrente polarizada em spin em materiais semicondutores;
  •  Estruturas para Spin-Valvulas;
  •  Estruturas para caracterização elétrica de semicondutores.

Estrutura:

  • Laserwhiter mPG 101 Heidelberg – Resolução de 1μm- Amostras de até 10cm;
  • Sputtering para deposição de filmes finos/contatos. Equipado com 2 canhões (DC e RF) e 6 alvos (Au, Cu, Co, MgO, Al2O, CoFe).

Auxiliares:

  • Chapa Quente;
  • Spin-coater;
  • Banho de Ultrassom;
  • Banho Quente;
  • Capela;
  • Desumidificador;
  • Dessecador;
  • Refrigerador.

Contato:

Prof. André Pasa: pasa@fisica.ufsc.br
Fone: (48) 3721-2303

Agenda de operação