Evaporadora EV-160

Evaporadora Térmica por Feixe de Elétrons VE-160


Thermoionics Laboratory, VE-160
Responsável: Prof. André Avelino Pasa

    Sistema de deposição física de vapor (PVD) por feixe de elétrons com módulo de deposição térmico por efeito joule.
     Na evaporação do feixe de elétrons os vapores necessários para a deposição são obtidos a partir do foco de um feixe de elétrons energético no cadinho contendo o material que se deseja depositar e aquecendo-o até atingir seu ponto de evaporação. Já pela evaporação térmica, os materiais a serem evaporados são colocados em cadinhos condutores (grafite ou tungstênio) que são intensamente aquecidos por efeito Joule, até à sua evaporação.

O sistema dispõe de:

  • Canhão de elétrons com 3kW.
  • Shutters pneumáticos.
  • Sample holder giratório.
  • Sample holder com aquecimento, até 300°C, Lampadas halogenias.
  • Modo de deposição por efeito Joule.
  • Pressão de Trabalho ~ 1E-8 até 2E-6 torr (bomba turbomolecular 600l/s)
  • Possibilidade de 3 alvos para e-beam e 2 alvos efeito Joule.
  • Cristal de Quartzo para controle de Espessura (res: 0.1 A).

Manual de Operação
Agenda de operação